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发明名称 VERFAHREN ZUR WERKSTÜCKBEHANDLUNG IN EINER VAKUUMATMOSPHÄRE UND VAKUUMBHANDLUNGSANLAGE
摘要
申请公布号 AT160650(T) 申请公布日期 1997.12.15
申请号 AT19930102336T 申请日期 1993.02.15
申请人 BALZERS AKTIENGESELLSCHAFT 发明人 SIGNER, HANS;KUEGLER, EDUARD;WELLERDICK, KLAUS;RUDIGIER, HELMUT;HAAG, WALTER
分类号 C23C14/32;C23C14/54;C23C16/50;C23C16/52;C23F4/00;H01J37/32;(IPC1-7):H01J37/32 主分类号 C23C14/32
代理机构 代理人
主权项
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