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发明名称 Induktive Strukturen für halbleitende integrierte Schaltungen
摘要
申请公布号 DE69030738(T2) 申请公布日期 1997.12.18
申请号 DE1990630738T 申请日期 1990.08.17
申请人 MITSUBISHI DENKI K.K., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 ANDOH, NAOTO, MITSUBISHI DENKI K.K., 4-CHOME, ITAMI-SHI, HYOGO-KEN, JP;INOUE, AKIRA, MITSUBISHI DENKI K.K., 4-CHOME, ITAMI-SHI, HYOGO-KEN, JP;NAKAJIMA, YASUHARU, MITSUBISHI DENKI K.K., 4-CHOME, ITAMI-SHI, HYOGO-KEN, JP;NAKAHARA, KAZUHITO, MITSUBISHI DENKI K.K., 4-CHOME, ITAMI-SHI, HYOGO-KEN, JP
分类号 H01L21/822;H01F17/00;H01F21/08;H01F27/28;H01L21/02;H01L23/64;H01L27/04;(IPC1-7):H01F17/00 主分类号 H01L21/822
代理机构 代理人
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