| 摘要 |
산의 작용에 의해 알칼리 현상액에 대한 용해성이 변화되는 기재 성분 (A), 및 노광에 의해 산을 발생하는 산발생제 성분 (B) 를 함유하는 레지스트 조성물로서, 산발생제 성분 (B) 는 일반식 (I) [식 중, R는 카르보닐기, 에스테르 결합, 또는 술포닐기를 갖는 유기기를 나타내고, Q 는 2 가의 연결기이다.] 로 나타내는 기를 카티온부에 갖는 화합물로 이루어지는 산발생제 (B1) 을 함유하는 것을 특징으로 하는 레지스트 조성물. [화학식 1] |
