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发明名称 Verfahren zur Positionierung eines ersten Substrats auf ein zweites und so hergestellte mikromechanische Positioniervorrichtung
摘要
申请公布号 DE69219842(T2) 申请公布日期 1998.01.02
申请号 DE19926019842T 申请日期 1992.09.10
申请人 CENTRE SUISSE D'ELECTRONIQUE ET DE MICROTECHNIQUE S.A., NEUENBURG/NEUCHATEL, CH 发明人 PARRIAUX, OLIVIER, CH-1005 LAUSANNE, CH;BERGQVIST, JOHAN WILHELM, CH-2014 BOLE, CH
分类号 G02B6/30;G02B6/42;(IPC1-7):G02B6/30;G02B6/36 主分类号 G02B6/30
代理机构 代理人
主权项
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