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摘要
申请公布号
JP2723112(B2)
申请公布日期
1998.03.09
申请号
JP19880233130
申请日期
1988.09.17
申请人
SUMITOMO DENKI KOGYO KK;OKAZAKI SACHIKO;KOKOMA MASUHIRO
发明人
OKAZAKI SACHIKO;KOKOMA MASUHIRO;TOMIKAWA TADASHI;FUJITA NOBUHIKO
分类号
C23C16/50;C23C16/44;H01L21/205;(IPC1-7):C23C16/50
主分类号
C23C16/50
代理机构
代理人
主权项
地址
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