| 摘要 |
본 발명은 다결정 실리콘의 제조 방법에 관한 것이다. 수소 및 실리콘 함유 성분을 함유하는 반응 가스는 실리콘으로 이루어진 1 이상의 지지체를 포함하는 반응기 내에 도입되고, 상기 지지체가 전류의 직접 통과에 의해 가열된다. 실리콘 함유 성분이 분해되고, 다결정 실리콘이 1 이상의 지지체 상에 증착된다. 본 발명은, 실리콘으로 이루어진 1 이상의 지지체가 산화물 층을 갖고, 산화물 층이 1 이상의 지지체 상의 다결정 실리콘의 증착 개시 전에 제거되며, 1 이상의 지지체가 1100℃ ∼ 1200℃의 온도까지 가열되고, 0.1 ∼ 5 bar의 압력에서 수소를 함유하는 분위기에 노출되고, 이때 수소를 함유하는 플러싱 가스가 반응기에 도입되는 것을 특징으로 한다. |
