Thin film transistor and method of manufacturing the same

摘要

본 발명은 게이트 전극과, 게이트 전극과 상하 방향으로 이격되고 수평 방향으로 서로 이격된 소오스 전극 및 드레인 전극과, 게이트 전극과 소오스 전극 및 드레인 전극 사이에 형성된 게이트 절연막과, 게이트 절연막과 소오스 전극 및 드레인 전극 사이에 형성된 활성층을 포함하며, 활성층은 칼슘이 함유된 금속 산화물 박막으로 형성된 박막 트랜지스터 및 그 제조 방법을 제시한다.