发明名称 |
MEASURING METHOD BY USE OF SCANNING TYPE PROBE MICROSCOPE |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH10132829(A) |
申请公布日期 |
1998.05.22 |
申请号 |
JP19960286278 |
申请日期 |
1996.10.29 |
申请人 |
NIKON CORP |
发明人 |
NAKAGIRI NOBUYUKI;YAMAMOTO TAKUMA;SUGIMURA HIROYUKI |
分类号 |
G01B21/30;G01N37/00;G01Q60/04;G01Q60/10;G01Q60/24;G01Q60/32;G01Q60/60;(IPC1-7):G01N37/00 |
主分类号 |
G01B21/30 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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