晶圆片固定机构

摘要

本创作系有关于一种晶圆片固定机构，尤指一种设置于晶圆盒盖内侧之晶圆片固定机构，作为晶舟内部存置之晶圆片之固定及储存，使晶圆片固定不晃动，并兼有避免产生粉尘，而造成污染晶舟内的晶圆片之优点；其系在晶圆盒盖内侧之两相邻角落，各设置一连杆组之晶圆片固定机构；该晶圆片固定机构与晶圆片或晶舟接触时，其间之相对运动减至最小，故而所造成之粉尘亦可减至最低；再则晶圆片固定机构系设于晶圆盒盖内相邻之两角落，可容许晶圆片于装置储存时，有着较大之凸出于晶舟的距离，而不致把晶圆片打破；由于本创作系运用连杆组之晶圆片固定机构，而达到晶圆片之收藏、储存所需之要求，在形态上仍属创新，为一符合新颖性、进步性及实用性专利要件之优异创作。

主权项

1.一种晶圆片固定机构,其结构主要包括有晶圆盒盖、固定机构、晶舟和晶圆盒底盘,其特征乃在于:固定机构,其系为一连杆机构模组,装置于晶圆盒盖之内侧,供晶圆片之定位及固定之用;该连杆机构系包含有基座杆、滑杆、下连杆、前连杆及上连杆等构件;当晶圆片置入晶舟之内部储存收藏时,将晶圆盒盖罩合,晶圆盒盖内之固定机构之滑杆与晶圆盒底盘接触,使滑杆于基座杆内向上移,推移出下连杆,使前连杆下端,受下连杆之作动,而倾斜推出;当滑杆与前连杆同样与晶圆盒底盘接触并受力推移,致使上连杆作动,将前连杆之上端部推移,待至固定机构之连杆全部 开,即完成晶舟上之晶圆片对齐,并定位固定之。2.如申请专利范围第1项所述之晶圆片固定机构,其中晶圆盒盖内部,可设置两组成或两组以上的固定机构应用之。3.如申请专利范围第1项所述之晶圆片固定机构,其中晶圆盒盖内设置之固定机构,系设置于晶圆盒盖内部之角落上。4.如申请专利范围第1项所述之晶圆片固定机构,其中固定机构之前连杆,系与晶圆片接触,可于前连杆上设置可弃式覆板,以利有污渍时更换之。5.如申请专利范围第1项所述之晶圆片固定机构,其中基座杆内可设置一弹簧,使滑杆回复初始位置之动作更加稳定。图示简单说明:第一图为本创作实施前之示意图第二图为本创作实施后之示意图第三图为本创作之固定机构设置与晶圆片互动之相关示意图第四图为本创作之图固定机构之动作示意图