发明名称 Method and apparatus for investigating at least one property of a material
摘要 <p>Um durch Reflexionsmessung von der Oberfläche eines Materials interessierende Materialeigenschaften zu ermitteln, werden gleichzeitig mehrere Lichtbündel (S1, S2 ... Sn) auf die gleiche Stelle der Oberfläche (B) gerichtet und reflektiertes Licht (R) ausgewertet. Das Licht der Bündel weist dabei gleiche, bei mehreren Bündeln möglicherweise teilweise gleiche oder aber unterschiedliche Spektren auf. Das reflektierte Licht wird nach Spektrumanalyse an einer Recheneinheit 5 ausgewertet, insbesondere bevorzugt mittels Faktoranalyse. &lt;IMAGE&gt;</p>
申请公布号 EP0845668(A2) 申请公布日期 1998.06.03
申请号 EP19980102943 申请日期 1998.02.20
申请人 WAGNER, HEINZ 发明人 WAGNER, HEINZ
分类号 G01N21/47;G01N21/27;G01N21/25;(IPC1-7):G01N21/47 主分类号 G01N21/47
代理机构 代理人
主权项
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