发明名称 Prosessivaihtelujen eliminointimenetelmä u-MOSFET-rakenteissa
摘要
申请公布号 FI981301(A0) 申请公布日期 1998.06.08
申请号 FI19980001301 申请日期 1998.06.08
申请人 VALTION TEKNILLINEN TUTKIMUSKESKUS VTT 发明人 RANTALA, ARTO
分类号 G11C27/00;H01L27/115;H01L29/788;(IPC1-7):H01L 主分类号 G11C27/00
代理机构 代理人
主权项
地址