发明名称 |
Prosessivaihtelujen eliminointimenetelmä u-MOSFET-rakenteissa |
摘要 |
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申请公布号 |
FI981301(A0) |
申请公布日期 |
1998.06.08 |
申请号 |
FI19980001301 |
申请日期 |
1998.06.08 |
申请人 |
VALTION TEKNILLINEN TUTKIMUSKESKUS VTT |
发明人 |
RANTALA, ARTO |
分类号 |
G11C27/00;H01L27/115;H01L29/788;(IPC1-7):H01L |
主分类号 |
G11C27/00 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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