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发明名称 MANUFACTURE METHOD OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH10256511(A) 申请公布日期 1998.09.25
申请号 JP19980035711 申请日期 1998.02.18
申请人 LG SEMICON CO LTD 发明人 LEE CHANG JAE
分类号 H01L27/088;H01L21/28;H01L21/8234;H01L21/8242;H01L27/10;H01L27/108;(IPC1-7):H01L27/108;H01L21/824;H01L21/823 主分类号 H01L27/088
代理机构 代理人
主权项
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