发明名称 CLEANING DEVICE
摘要
申请公布号 KR0147043(B1) 申请公布日期 1998.11.02
申请号 KR19910020162 申请日期 1991.11.13
申请人 TOKYO ELECTRIC LTD 发明人 UENO, KINYA;KUMAGAI, YOSHIO
分类号 H01L21/304;B08B3/04;H01L21/00;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
地址