发明名称 FORMATION METHOD FOR CONTACT IN SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR0147870(B1) 申请公布日期 1998.11.02
申请号 KR19940027132 申请日期 1994.10.24
申请人 LG SEMICONDUCTOR CO.,LTD 发明人 LEE, CHANG-JAE
分类号 H01L21/28;H01L21/285;H01L21/44;H01L21/60;H01L21/768;H01L23/522;(IPC1-7):H01L21/28 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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