| 摘要 |
본 발명은, 반응관의 노구를 밀폐할 때, 반응관의 보톰 플랜지와 덮개가 직접 맞닿는 것을 방지하고, 또한 밀봉 시일을 손상시키는 것을 방지하는 열처리 장치를 제공한다. 본 발명의 일 실시 형태에 따른 열처리 장치는, 하방에 노구를 갖는 동시에 보톰 플랜지를 갖는 원통 형상의 석영제 반응관과, 상기 반응관의 보톰 플랜지를 보유 지지하는 플랜지 보유 지지 부재와, 금속제 덮개와 상기 금속제 덮개에 의해 지지되고 상기 반응관의 노구를 밀폐하는 석영제 덮개를 갖는 덮개를 구비한다. 상기 석영제 덮개는 상기 금속제 덮개에 지지 링에 의해 고정되고, 상기 지지 링은 상기 플랜지 보유 지지 부재의 하면에 맞닿아, 상기 석영제 덮개와 상기 보톰 플랜지 사이에 간극을 형성하고, 상기 보톰 플랜지와 상기 석영제 덮개 사이의 간극의 반경 방향 바깥쪽으로, 밀봉 시일을 설치한다. |
