LENS BARREL SUPPORTING DEVICE AND MASKLESS EXPOSURE APPARATUS HAVING THE SAME

摘要

본 발명에 따른 경통 지지장치 및 이를 갖춘 마스크리스 노광장치는 광을 기판으로 안내하는 경통을 지지하되, 경통의 축인 제 1 축을 중심으로 상기 경통을 회전 가능하게 지지하며, 제 1 축과 직각을 이루며 서로 직각을 이루는 제 2 축 및 제 3 축을 중심으로 상기 경통을 각각 틸팅 가능하게 지지하므로, 경통의 위치 및 각도를 세밀하게 조절할 수 있다.