| 发明名称 |
METHOD AND APPARATUS FOR INSPECTING SURFACE OF PHASE GRATING |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH1164159(A) |
申请公布日期 |
1999.03.05 |
| 申请号 |
JP19970224824 |
申请日期 |
1997.08.21 |
| 申请人 |
SUMITOMO ELECTRIC IND LTD |
发明人 |
HASHIMOTO TAKESHI;MOBARA MASAICHI |
| 分类号 |
G01B11/02;G01M11/00;(IPC1-7):G01M11/00 |
主分类号 |
G01B11/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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