GERÄT UND VERFAHREN ZUR IN SITU MAGNETRON SAÜBERN VON PLASMAREAKTER-KAMMERN,申请号DE1995609248-传众专利搜索

发明名称	GERÄT UND VERFAHREN ZUR IN SITU MAGNETRON SAÜBERN VON PLASMAREAKTER-KAMMERN
摘要
申请公布号	DE69509248(D1)	申请公布日期	1999.05.27
申请号	DE1995609248	申请日期	1995.09.15
申请人	LAM RESEARCH CORP., FREMONT, CALIF., US	发明人	SHUFFLEBOTHAM, PAUL, K., SAN JOSE, CA 95118, US;HARTSOUGH, LARRY, D., BERKELEY, CA 94705, US;DENISON, DEAN, R., SAN JOSE, CA 95125, US
分类号	H05H1/46;C23C16/44;C23C16/50;C23C16/511;H01J37/32;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/31;(IPC1-7):H01J37/32	主分类号	H05H1/46
代理机构		代理人
主权项
地址