发明名称 晶片黏接装置
摘要 携带用以捡起晶片之吸嘴之头件在移动于晶片供应件中之晶圆及定位件中之基体之期间中,由使用凸轮及凸轮从动件上下移动,俾缩短用以自晶片供应件中之晶圆中捡起晶片及安装晶片于基体上之吸嘴之上下移动之冲程,并减轻在吸嘴移动期间中之负载,从而可提高头件移动于晶圆及基体间之速度,以缩短时间反应并提高工作效率。
申请公布号 TW363232 申请公布日期 1999.07.01
申请号 TW086105561 申请日期 1997.04.28
申请人 松下电器产业股份有限公司 发明人 高浪保夫
分类号 H01L21/52 主分类号 H01L21/52
代理机构 代理人 林志刚 台北巿南京东路二段一二五号七楼
主权项 1.一种晶片黏接装置,包含:一定位件,设于一底座上,用以放置一基体;一晶片供应件,安排于底座上较之置于定位件上之基体低一高度差之位置处;一头件,以可升降之方式携带用以捡起晶片之一吸嘴;一移动装置,用以移动头件于定位件及晶片供应件之间;一凸轮,具有一凸轮曲线,该曲线具有自定位件至晶片供应件之一下坡;一凸轮从动件,与吸嘴整合成一体,并适于沿凸轮曲线上移动,俾上下移动吸嘴;及一垂直移动装置,用以上下移动该凸轮,俾移动吸嘴至定位件或晶片供应件上方。2.如申请专利范围第1项所述之晶片黏接装置,其中,用以移动凸轮之该垂直移动装置具有一驱动件,此并非与头件整合,而是与该底座整合,放在头件移动于晶片供应及定位装置间之期间中,驱动件并不施加负载。图式简单说明:第一图为透视图,显示本发明之一实施例之晶片黏接装置;第二图为放大透视图,显示第一图所示之晶片黏接装置之一主要部份;第三图为前视图,显示第一图所示之晶片黏接装置;第四图为侧视图,显示第一图所示之晶片黏接装置;第五图为平面图,显示第一图所示之晶片黏接装置;第六图为说明图,显示吸嘴之一冲程;第七图为侧视图,显示一晶片黏接装置,用以与本发明之晶片黏接装置比较。
地址 日本