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摘要
申请公布号
JP2933319(B2)
申请公布日期
1999.08.09
申请号
JP19890129131
申请日期
1989.05.22
申请人
NIPPON DENKI KK
发明人
YAMANAKA KOJI
分类号
B05C11/08;B05D3/00;H01L21/31;(IPC1-7):B05C11/08
主分类号
B05C11/08
代理机构
代理人
主权项
地址
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