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发明名称
摘要
申请公布号 JP2941335(B2) 申请公布日期 1999.08.25
申请号 JP19900039054 申请日期 1990.02.20
申请人 TOSHIBA KK 发明人 ENDO NAOHIKO;KATO RIICHI
分类号 H01L29/73;H01L21/331;H01L29/205;H01L29/737;(IPC1-7):H01L21/331 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
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