| 主权项 |
1.一种用于一或多个晶圆样本之自动展布电阻描绘的系统,该等晶圆样本已被准备有和在一边缘交叉的一倾斜表面一原始表面,该系统包含有:一电阻量测单元,其包括正性和负性探针尖端和用于量测其间之电阻的装置;一个x-y-z-定位阶台,用于定置该等样本以被探针尖端接触;一样本握持器,具有用于以一动力稳定方式将该握持器安装于该定位阶台之装置;一显微镜;用于数位化显微镜影像的一视讯摄像机和讯框抓取器;及一经程式规划电脑和电脑监视器,用于显示经数位化显微镜影像,控制该x-y-z-阶台、该等探针尖端及电阻量测动作。2.依据申请专利范围第1项之系统,其更包含有用于在显示在该电脑监视器上的该影像于在该倾斜表面和该原始表面之间的该边缘上标示出两点以确认一参考线和与其垂直的方向来获得展布电阻量测结果的一装置。3.依据申请专利范围第2项之系统,其中该电脑被程式规划以自动地控制该x-y-z-阶台,以依据标示在显示于该监视器上的该影像上之两点之安置而将该样本平移至供展布电阻描绘用之正确启始位置。4.依据申请专利范围第1项之系统,其更包含有一探针调设构物,用于以一动力稳定方式置放在该定位阶台上,且该电脑被程式规划以藉由操作该x-y-z-定位阶台而控制探针调设。5.依据申请专利范围第1项之系统,其更包含能够握持多个样本在该定位阶台上的该样本握持器,且该电脑被程式规划成在该倾斜表面和该原始表面间的该边缘已就各样品被确认后,自动地进行而对各样品一个接一个地实施展布电阻描绘量测动作。6.依据申请专利范围第1项之系统,其更包含有一校准构物,用于以一动力稳定方式安装在该定位阶台上,且该电脑被程式规划以对安装在该构物上的多个标准样本实施展布电阻量测动作。7.依据申请专利范围第2项之系统,其更包含有用于将一个二维游标定置成垂直于在显示于该电脑监视器上之该影像上的该倾斜表面和该原始表面间之该边缘的装置,以确认在自动展布电阻描绘时该探针尖端所步进通过的路径。8.依据申请专利范围第7项之系统,其中该第二游标包含用于指示沿着它界定出应做量测之一些位置的标记,及用于调整该等标记之间距的装置。9.依据申请专利范围第1项之系统,其更包含有该电脑被程式规划以处理经数位化影像的该电脑,以确认在该倾斜表面和该原始表面间的该边缘,以确认一参考线和与其垂直的方向来获得展布电阻量测结果。10.依据申请专利范围第9项之系统,其中该电脑被程式规划以依据该参考线在显示于该监视器上的该影像上之设置而自动地控制该x-y-z-阶台,以将该样本平移至供展布电阻描绘用之正确启始位置。图式简单说明:第一图系根据本发明的一量测装置之一透视图;第二图a至b系说明本发明之各种硬体和电脑程式特征之相互连接的流程图;第三图系根据本发明的一多重样品构物之一顶视图;第四图系根据本发明的一校准构物之一顶视图;第五图a系一探针调设构物之一顶视图;第五图b系安装在第五图a之探针调设构物上的一探针成形器之一横截面图;第五图c系安装在第五图a之探针调设构物上的一勾雷-施耐德研磨机之一详细截面图;第六图a和第六图b系说明以离线和被经规划电脑两者实施的正常量测程序之流程图;第七图a和第七图b系说明以离线和被经规划电脑两者实施的校准量测程序之流程图;及第八图a和第八图b系说明以离线和被经规划电脑两者实施的探针调设程序之流程图。 |
