摘要 |
SE PRESENTA UN APARATO Y UN METODO DE MEDIDA DE LA RESISTENCIA DE UNA LAMINA, SIN CONTACTO PARA MEDIR LA RESISTENCIA DE UNA LAMINA DE UNA CAPA DESEADA DE UN PRIMER TIPO DE CONDUCTIVIDAD, FORMADA SOBRE UN SUBSTRATO DE UN TIPO DE CONDUCTIVIDAD OPUESTA. EL APARATO COMPRENDE MEDIOS PARA ESTABLECER UNA CAPACITANCIA DE UNION, MEDIOS GENERADORES DE UN FOTOVOLTAJE DE CORRIENTE ALTERNA EN LA UBICACION DEL PUNTO PARA GENERAR UN FOTOVOLTAJE DE CORRIENTE ALTERNA LATERALMENTE PROPAGADO, MEDIOS DE MONITORIZACION DE DESPLAZAMIENTO DE FASE Y ATENUACION PARA MONITORIZAR EL FOTOVOLTAJE DE CORRIENTE ALTERNA LATERALMENTE PROPAGADO, Y MEDIOS GENERADORES DE SEÑALES DE LA RESISTENCIA DE LA LAMINA SENSIBLES A LOS MEDIOS PARA ESTABLECER LA CAPACITANCIA DE UNION, LOS MEDIOS GENERADORES DE FOTOVOLTAJE DE CORRIENTE ALTERNA, Y LOS MEDIOS DE MONITORIZACION DE DESPLAZAMIENTO DE FASE Y ATENUACION SIRVE PARA GENERAR UNA SEÑAL DE SALIDA INDICATIVA DE LA RESISTENCIA DE LA LAMINA R{SUB, S} DE LA CAPA DESEADA DE ACUERDO CON UNMODELO DE RESISTENCIA DE LAMINA PRESCRITO.
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