发明名称 METODO Y APARATO DE MEDIDA DE LA RESISTENCIA DE CAPA SIN CONTACTO.
摘要 SE PRESENTA UN APARATO Y UN METODO DE MEDIDA DE LA RESISTENCIA DE UNA LAMINA, SIN CONTACTO PARA MEDIR LA RESISTENCIA DE UNA LAMINA DE UNA CAPA DESEADA DE UN PRIMER TIPO DE CONDUCTIVIDAD, FORMADA SOBRE UN SUBSTRATO DE UN TIPO DE CONDUCTIVIDAD OPUESTA. EL APARATO COMPRENDE MEDIOS PARA ESTABLECER UNA CAPACITANCIA DE UNION, MEDIOS GENERADORES DE UN FOTOVOLTAJE DE CORRIENTE ALTERNA EN LA UBICACION DEL PUNTO PARA GENERAR UN FOTOVOLTAJE DE CORRIENTE ALTERNA LATERALMENTE PROPAGADO, MEDIOS DE MONITORIZACION DE DESPLAZAMIENTO DE FASE Y ATENUACION PARA MONITORIZAR EL FOTOVOLTAJE DE CORRIENTE ALTERNA LATERALMENTE PROPAGADO, Y MEDIOS GENERADORES DE SEÑALES DE LA RESISTENCIA DE LA LAMINA SENSIBLES A LOS MEDIOS PARA ESTABLECER LA CAPACITANCIA DE UNION, LOS MEDIOS GENERADORES DE FOTOVOLTAJE DE CORRIENTE ALTERNA, Y LOS MEDIOS DE MONITORIZACION DE DESPLAZAMIENTO DE FASE Y ATENUACION SIRVE PARA GENERAR UNA SEÑAL DE SALIDA INDICATIVA DE LA RESISTENCIA DE LA LAMINA R{SUB, S} DE LA CAPA DESEADA DE ACUERDO CON UNMODELO DE RESISTENCIA DE LAMINA PRESCRITO.
申请公布号 ES2135028(T3) 申请公布日期 1999.10.16
申请号 ES19950480060T 申请日期 1995.05.19
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 VERKUIL, ROGER LEONARD
分类号 G01R27/02;G01R27/26;G01R31/265;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66;G01R31/28;G01R31/311 主分类号 G01R27/02
代理机构 代理人
主权项
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