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发明名称
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申请公布号 JP2974689(B2) 申请公布日期 1999.11.10
申请号 JP19890165161 申请日期 1989.06.27
申请人 JIIMENSU AG 发明人 PEETAA ARUPERUN;DOMINIKU SABINYATSUKU;SHUTEFUAN URUMU
分类号 G01N21/88;G01N21/17;G01N21/55;G01N21/95;G01N21/956;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 G01N21/88
代理机构 代理人
主权项
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