| 主权项 |
1.一种以曝光工作资讯进行曝光处理之曝光单元,包括:通信装置,其与外部单元进行通信;决定装置,其决定该曝光单元是否有一指定的曝光工作资讯;询问装置,当该决定装置决定无所指定工作资讯时,其透过该通信装置询问一外部单元是否有曝光工作资讯;以及判决装置,其判决以该指定工作资讯为基础之曝光处理依该询问装置询问结果是否为可执行者。2.如申请专利范围第1项之曝光单元,其中该曝光单元更包括通知装置,其透过该通信装置通知外部单元该判决装置之判决结果。3.一种以曝光工作资讯进行曝光处理之曝光单元,包括:通信装置,其与外部单元进行通信;决定装置,其决定该曝光单元是否有一指定的曝光工作资讯;询问装置,当该决定装置决定无所指定工作资讯时,其透过该通信装置询问一外部单元是否有曝光工作资讯;以及接收装置,其透过该通信装置接收外部单元来之该指定工作资讯,其中该外部单元已回应通知有该指定工作资讯者。4.如申请专利范围第3项之曝光单元,其中:接受询问装置询问之外部单元系依序由取得工作资讯成本低者到高者;且其中收到询问装置之询问时,该接收装置透过该通信装置由第一个肯定回应的外部单元处接收所指定工作资讯。5.如申请专利范围第3项之曝光单元,其中收到该询问装置之询问的肯定回应时,该接收装置接收在该回应之后被传送之资讯做为所指定工作资讯。6.如申请专利范围第3项之曝光单元,其中该询问装置使用该通信装置询问能接受询问的所有外部单元是否有该指定工作资讯;且其中该接收装置由给予询问肯定回应的外部单元中选择其中一者,并透过该通信装置接收从选择的外部单元来之该指定工作资讯。7.如申请专利范围第6项之曝光单元,其中该接收装置由给予询问装置询问肯定回应之外部单元之中选择一个取得工作资讯成本最低者。8.如申请专利范围第3项之曝光单元,其中该曝光单元更包括:讯息接收装置,其透过该通信装置接收外部单元来之是否有工作资讯的询问讯息;以及一讯息发出装置,其决定该曝光单元是否有该讯息接收装置接收之询问讯息所指定之工作资讯,并透过该通过装置将该决定结果送到该外部单元。9.如申请专利范围第8项之曝光单元,其中当决定该曝光单元中有该询问讯息所指之工作资讯时,该讯息送出装置将该工作资讯和显示决定结果之资讯一齐传送到该曝光单元。10.一种进行一指定曝光处理之曝光单元,包括:通信装置,其能连接到有一伺服器单元之网路;决定装置,其决定该单元中是否有执行该指定曝光处理所需之工作资讯;要求装置,当该决定装置决定该单元中没有所需工作资讯时,该要求装置透过该网路对该伺服器单元要求该工作资讯;接收装置,其透过该通信装置从该伺服器单元接收因应该要求装置之要求而传送的工作资讯;以及曝光装置,其依据该接收装置接收到的工作资讯执行所指定的曝光处理。11.如申请专利范围第10项之曝光单元,其中:该通信装置可透过该网路以外的其他通信线路连接到一主设备;以及更设有指示接收装置来透过该通信线路接收由该主设备来之曝光处理指示。12.如申请专利范围第11项之曝光单元,其中该通信装置之该通信线路的通信速率低于该网路。13.如申请专利范围第11项之曝光单元,其中该通信装置中之该网路使用TCP/IP,Net Ware和Apple Talk其中任何一者做为协定。14.如申请专利范围第11项之曝光单元,其中该通信装置中的该通信线路使用依据半导体通信标准(SECS)之协定做为协定。15.如申请专利范围第11项之曝光单元,其中该指示接收装置透过该通信线路从该主设备接收多个曝光处理指示;以及其中对多个曝光处理回合中每一者而言,该曝光单元更包括控制装置来重覆该决定装置,该要求装置和该接收装置。16.如申请专利范围第11项之曝光单元,其中该伺服器中没有所指定曝光处理之该工作资讯,该曝光单元更包括通知主设备此一效应的通信装置。17.一种曝光系统,设有多个以曝光工作资讯进行曝光处理之多个曝光单元,包括:通信装置,可将该多个曝光单元连接到给予曝光单元曝光工作指示之主设备;决定装置,当该主设备指定一曝光单元和一工作资讯,该决定装置决定该指定曝光单元中是否有该工作资讯;搜寻装置,当该决定装置决定所指定工作资讯不存在时,该搜寻装置从该多个曝光单元和该主设备之间搜寻具有该工作资讯之单元;以及判决装置,其判决以该搜寻装置搜寻结果为基础之所指定工作资讯为主的曝光处理是否可由该系统执行。18.如申请专利范围第17项之曝光系统,其中该系统更包括通知装置,其透过该通信装置通知该主设备该决定装置之决定结果。19.一种曝光系统,设有多个以曝光工作资讯进行曝光处理之多个曝光单元,包括:通信装置,可将该多个曝光单元连接到给予曝光单元工作指示之主设备;决定装置,当该主设备指定一曝光单元和一工作资讯,该决定装置决定该指定曝光单元中是否有该工作资讯;搜寻装置,当该决定装置决定所指定工作资讯不存在时,该搜寻装置从该多个曝光单元和该主设备之间搜寻具有该工作资讯之单元;以及传送装置,其将该指定工作资讯由该搜寻装置搜寻所得之单元透过该通信装置传送到该指定曝光单元。20.如申请专利范围第19项之曝光系统,其中该搜寻装置要搜寻的单元系依序由取得工作资讯低成本者到高成本者;以及其中该传送装置透过该通信装置将该指定工作资讯由该搜寻装置首先发现的单元传送到该指定曝光单元。21.如申请专利范围第19项之曝光系统,其中该搜寻装置对该通信装置中所有能被搜寻之单元进行搜寻,并取出具有该指定工作资讯之单元;以及其中该传送装置由该搜寻装置所选的单元中选择其中一者,并将该指定工作资讯由该所选外部单元透过该通信装置传送到该指定曝光单元。22.如申请专利范围第21项之曝光系统,其中该传送装置由对该询问装置肯定回应的外部单元中选出以最低成本取得该工作资讯者。23.如申请专利范围第19项之曝光系统,其中该搜寻装置包括:讯息接收装置,其透过各单元中连接到该通信装置的通信装置接收其他单元来之有关工作资讯是否存在之询问讯息;以及讯息传送装置,其决定该曝光单元是否有该讯息接收装置接收的询问讯息所指之工作资讯,并将决定结果透过该通信装置传送到该讯息之传送器。24.如申请专利范围第23项之曝光系统,其中当决定该询问讯息所指的工作资讯不在该曝光单元中时,该工作资讯和决定结果一齐由该讯息传送装置传送到该外部单元。25.一种曝光系统,其有多个曝光单元和至少一伺服器,包括:通信装置,包括一网路以连接该多个曝光单元和该伺服器;决定装置,其决定为该多个曝光单元指定的曝光处理执行所需工作资讯是否在该指定曝光单元中;取得装置,当该决定装置决定所需工作资讯不在该曝光单元中时,该取得装置透过该通信装置透过该伺服器取得该工作资讯;以及曝光装置,其依据该取得装置取得之资讯执行该指定曝光处理。26.如申请专利范围第25项之曝光系统,其中该通信装置能利用该网路之外的通信线路连接到该多个曝光单元和一主设备;和其中各曝光单元更设有接收装置透过该通信线路接收该主设备之曝光处理指示。27.如申请专利范围第26项之曝光系统,该通信装置中的该通信线路之通信速率比该网路低。28.如申请专利范围第26项之曝光系统,其中该通信装置中之网路使用TCP/IP,Net Ware和Apple Talk其中任何一者做为协定。29.如申请专利范围第26项之曝光系统,其中该通信装置中的该通信线路使用依据半导体通信标准(SECS)之协定做为协定。30.如申请专利范围第26项之曝光系统,其中当该指示接收装置一次接收主设备之指定多个曝光处理回合之指定资讯,该系统更设有控制装置来重覆执行该决定装置和该取得装置以用于该指明资讯所指定之曝光处理回合。31.如申请专利范围第25项之曝光系统,其中该伺服器包括:管理装置,其管理成组族之多个曝光单元;及传送装置,其将所要求之工作资讯传送到该组群中之所有曝光单元,而该要求曝光单元系属于该组群。32.如申请专利范围第25项之曝光系统,其中该系统更包括:保留装置,其保留传送到曝光单元的工作资讯各片断的删除时间;以及删除装置,当到达该保留装置的删除时间,该删除装置将对应的工作资讯从曝光单元的储存区域中删除。33.如申请专利范围第25项之曝光系统,其中该系统进一步包括:保留装置,保留每一个传输至曝光单元之工作资讯的删除时间;以及删除装置,当达到藉由保留装置而保留的删除时间时,删除来自于曝光单元之储存区的对应工作资讯。34.如申请专利范围第33项之曝光系统,其中:该保留装置将对应该要求曝光单元之要求工作资讯的识别资讯和删除时间存在一删除清单中;以及其中该删除装置包括:删除要求装置,当到达该删除清单的删除时间时,该删除要求装置要求伺服器将适当曝光单元的对应工作资讯删除;以及资讯删除装置,其因应各曝光单元中之删除要求装置之删除要求将对应的工作资讯从本身之储存区中删除。35.一种曝光单元控制方法,其有与一外部单元通信之通信装置和以曝光工作资讯进行曝光处理,该方法包括:一决定步骤,决定该曝光单元是否有所指定工作资讯;一询问步骤,当该指定工作资讯在该决定步骤中决定为不存在时,透过该通信装置询问一外部单元是否有该工作资讯;以及一判决装置,依据该询问步骤中的询问结果做基础,判决依据该指定工作资讯之曝光处理是否能执行。36.一种控制曝光单元之控制方法,其有与一外部单元通信之通信装置和以曝光工作资讯进行曝光处理,包括:一决定步骤,决定该曝光单元是否有指定工作资讯;一询问步骤,当该指定工作资讯在该决定步骤中决定为不存在时,透过该通信装置询问一外部单元是否有该工作资讯;以及一接收步骤,收到该询问步骤的询问时,透过该通信装置从回应表示有该指定工作资讯之外部单元接收该指定工作资讯。37.一种控制曝光单元之方法,其有能连接有一伺服器之网路的通信装置,而且进行一指定曝光处理,包括:一决定步骤,决定执行该指定曝光处理所需之工作资讯是否在该单元中;一要求步骤,当该决定步骤决定该单元中没有所需工作资讯,透过该网路对该伺服器要求该工作资讯;一接收步骤,从该伺服器接收因应该要求步骤之要求而透过该通信装置传送之工作资讯;以及一曝光步骤,依据该接收步骤中接收的工作资讯进行所指定曝光处理。38.一种曝光系统控制方法,其设有多个以曝光工作资讯进行曝光处理之曝光单元,一个给予该多个曝光单元一曝光工作指示之主设备,以及一个将它们连接之通信装置,该方法包括:一决定步骤,当该主设备指定一曝光单元和一工作资讯时,决定该指定曝光单元是否有该工作资讯;一搜寻步骤,当该决定步骤决定该指定工作资讯不存在时,从该多个曝光单元和该主设备之中搜寻具有该工作资讯之单元;以及一判决步骤,以该搜寻步骤中之搜寻结果判决基于该指定工作资讯之曝光处理是否可在该系统中执行。39.一种曝光系统控制方法,其设有多个以曝光工作资讯进行曝光处理之曝光单元,一个给予该多个曝光单元一曝光工作指示之主设备,以及一个将它们连接之通信装置,该方法包括:一决定步骤,当该主设备指定一曝光单元和一工作资讯时,决定该指定曝光单元是否已有该工作资讯;一搜寻步骤,当该决定步骤决定该指定工作资讯不存在时,从该多个曝光单元和主设备之中搜寻具有该工作资讯之单元;以及一传送装置,将该指定工作资讯由该搜寻中找到的一单元传送到该指定曝光单元。40.一种曝光系统控制方法,其有多个曝光单元,至少一伺服器,和包括将它们通信连接之网路的通信装置,该方法包括:一决定步骤,决定该指定曝光单元中是否有为了该多个曝光单元其中一者指定的曝光处理执行所需工作资讯;一取得步骤,当该决定步骤中决定该曝光单元中没有所需工作资讯,透过该通信装置从该伺服器处取得该工作资讯;以及一执行步骤,依据该取得步骤中取得的工作资讯执行该指定曝光处理。图式简单说明:第一图系一方块图,介绍本发明半导体曝光系统第一实施例之部分架构。第二图系一流程图,介绍第一实施例的曝光单元操作。第三图系一流程图,介绍第一实施例的曝光工作资讯询问处理。第四图A至第四图G介绍第一实施例中单元之间的传送讯息内容。第五图系一流程图,介绍曝光工作资讯管理程式在收到询问讯息51下的处理程序。第六图系一流程图,介绍第一实施例变化例中之曝光工作资讯询问处理。第七图介绍本发明半导体曝光系统第二实施例之网路架构。第八图系一方块图,介绍半导体曝光单元之硬体架构,其可处理用于第七图所示系统之网路。第九图系一流程图,介绍第二实施例之操作。第十图系一流程图,介绍第三实施例之操作。第十一图系一流程图,介绍第四实施例之操作。第十二图A介绍系统中一半导体曝光单元中之组群登录数据架构。第十二图B系一流程图,介绍第五实施例中伺服器在数据档传送要求下之处理程序。第十三图介绍本发明半导体曝光系统第六实施例之阶级组织。第十四图介绍本发明第七实施例之操作流程图。第十五图介绍本发明伺服器实施例中所使用的数据档删除时间登录表。第十六图为一流程图,介绍使用本发明半导体曝光系统之装置制造程序。第十七图系一流程图,介绍第十六图中晶圆处理流程。 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