发明名称
摘要
申请公布号 JP2989215(B2) 申请公布日期 1999.12.13
申请号 JP19900107095 申请日期 1990.04.23
申请人 OKI DENKI KOGYO KK 发明人 MACHIDA TETSUSHI
分类号 G03F7/16;B05C11/08;B05D1/40;H01L21/027;(IPC1-7):B05C11/08 主分类号 G03F7/16
代理机构 代理人
主权项
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