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发明名称
摘要
申请公布号
JP2989215(B2)
申请公布日期
1999.12.13
申请号
JP19900107095
申请日期
1990.04.23
申请人
OKI DENKI KOGYO KK
发明人
MACHIDA TETSUSHI
分类号
G03F7/16;B05C11/08;B05D1/40;H01L21/027;(IPC1-7):B05C11/08
主分类号
G03F7/16
代理机构
代理人
主权项
地址
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