| 主权项 |
1.一种微型磁浮马达,系包括有一马达定子、马达转子及位置感测器,主要系采用单极性设计,即马达定子及马达转子有上下二个极面,每个极而极性相同,而该马达定子之二个极面中间为电磁线圈,以及该位置感测器系沿旋转轴方向,放置于该马达外端,以量测该马达转子径向位移者。2.如申请专利范围第1项所述之微型磁浮马达,其中该马达定子与马达转子的极数系设计为不同之设计方式者。3.如申请专利范围第1项所述之微型磁浮马达,其中该位置感测器系以差动式涡流位置感测器所组成者。4.如申请专利范围第1项所述之微型磁浮马达,其中该电磁线圈及位置感测器系采取多层平面线圈设计与加工之技术而完成者。5.如申请专利范围第1项所述之微型磁浮马达,其中该位置感测器设置于该马达外侧一端者。6.如申请专利范围第1项所述之微型磁浮马达,其中该位置感测器设置于该马达外侧二端者。7.如申请专利范围第1项所述之微型磁浮马达,更包括有线圈基板之设置,系装置于该马达之上下两面者。8.如申请专利范围第7项所述之微型磁浮马达,其中该线图基板系以矽或玻璃为制成之材料,而加以制成者者。9.一种微型磁浮马达之制程方法,系利用光蚀刻及电铸技术加工制程,系包括下列步骤:(1)于一线圈基板上制作位置感测器;(2)加工形成该微型磁浮马达之一极面;(3)加工形成电磁线圈及被包围之铁磁性材料;(4)完成微型磁浮马达之另一极面;(5)制作微型磁浮马达之转子;(6)制作另一端之位置感测器。10.如申请专利范围第9项所述之微型磁浮马达之制程方法,其中步骤(1)所述之线圈基板系以矽或玻璃为制成之材料者。11.如申请专利范围第9项所述之微型磁浮马达之制程方法,其中步骤(1)所述之位置感测器,系以差动式涡流位置感测器所组成者。12.如申请专利范围第9项所述之微型磁浮马达之制程方法,其中步骤(1)与步骤(3)所述之位置感测器及电磁线圈系采取多层平面线圈设计与加工之技术而完成者。13.如申请专利范围第9项所述之微型磁浮马达之制程方法,其中步骤(2)与步骤(4)所述之极面,系为该微型磁浮马达之定子者。14.如申请专利范围第9项所述之微型磁浮马达之制程方法,其中步骤(2)与步骤(4)所述之极面,系为马达定子之铁磁材料部份。15.如申请专利范围第9项所述之微型磁浮马达之制程方法,其中于执行完步骤(5)之后即直接将整个结构封闭,而不执行该步骤(6),系为微型磁浮马达之单端差动式位置感测器之实施方法者。图式简单说明:第一图A系为本发明第一实施例之剖视图。第一图B系为本发明第一实施例之顶视图。第二图A系为本发明第二实施例之剖视图。第二图B系为本发明第二实施例之顶视图。第三图系为本发明第一实施例之磁路与剖面示意图。第四图系为本发明第一实施例中位置感测器设计示意图。第五图A-F系为本发明实施例中制程顺序步骤之剖面示意图。 |
