| 摘要 |
플라즈마 챔버는 페데스탈, 상부 전극, 및 환형 구조체를 포함한다. 페데스탈은 웨이퍼를 지지하기 위한 중앙 영역 및 중앙 영역을 둘러싸는 단차 영역을 갖는다. 상단 표면을 갖는 기울어진 영역이 단차 영역을 둘러싸고, 상단 표면은, 상단 표면의 내측 경계와 중앙 영역 사이의 수직 거리가 상단 표면의 외측 경계와 중앙 영역 사이의 수직 거리보다 보다 작도록, 단차 영역으로부터 아래로 기울어진다. 상부 전극은 무선 주파수 전력 공급부에 커플링된다. 환형 구조체의 내측 둘레는 환형 구조체가 페데스탈 위에 배치될 때 페데스탈의 중앙 영역을 둘러싸도록 규정되고, 환형 구조체의 일부는 환형 구조체의 반경과 같은 방향으로 증가하는 두께를 갖는다. |
