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发明名称
摘要
申请公布号 JP3084339(B2) 申请公布日期 2000.09.04
申请号 JP19940118092 申请日期 1994.05.31
申请人 发明人
分类号 B05C3/18;B05C11/04;B05C11/06;B05C11/08;B05D1/26;B05D1/40;B05D3/00;G03F7/16;H01L21/027;(IPC1-7):B05C11/06 主分类号 B05C3/18
代理机构 代理人
主权项
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