用于调节电解液中的物质的浓度的方法与装置

摘要

本发明描述了一种用于调节在电解液中的金属离子的浓度的方法和装置,该电解液用于用不溶性阳极沉积金属并附加地含有电化学可逆的氧化还原系化合物。在液体流过的离子发生器(1)中,以该体系化合物的氧化形式使金属溶解,该化合物也因此被还原。为了沉积金属,溶解的金属离子在工件上被还原。处于还原形式的氧化还原系化合物在电镀设备(13)中在不溶性阳极上重新被氧化。为了保持电解液中的金属离子的浓度恒定,至少一部分电镀设备中的电解液通过一个或更多的有至少一个不溶性阳极(8)和至少一个阴极(7)的辅助电解池(6)输送,并在辅助电解池的阳极与阴极之间设定如此大的电流流动,以致在阳极表面上的电流密度最小为6A/dm²,在阴极表面上的电流密度最大为3A/dm²。为此,辅助电解池的阳极的表面积与阴极的表面积的比例调节成至少为1∶4。

主权项

1.用于调节在电解液中的金属离子的浓度的方法，该电解液用于沉积金属并附加地含有电化学可逆的氧化还原系化合物，金属用该化合物的氧化形式溶解在有电解液流过的离子发生器中，使得处于氧化形式的化合物在此时被还原，另外，此时产生的还原形式的化合物在不溶性阳极上被氧化，而金属则在采用不溶性阳极的情况下从位于电镀设备的至少一个电镀容器中的电解液体中沉积在工件上，其特征为：a.至少一部分在电镀设备(13)中所包含的电解液通过一个或更多的有至少一个不溶性阳极(8)和至少一个阴极(7)的辅助电解池(16)送入，以及b.在辅助电解池(6)的阳极(8)与阴极(7)之间采用如此大的电流，以使在阳极表面上的电流密度至少为6A/dm2，而在阴极表面上的电流密度最大为3A/dm2。