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发明名称
METHOD FOR ETCHING GLASS OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号
KR100267086(B1)
申请公布日期
2000.10.02
申请号
KR19980024328
申请日期
1998.06.26
申请人
KEC CORP.
发明人
KIM, DONG SOO;KIM, JUN SHICK
分类号
H01L21/306;(IPC1-7):H01L21/306
主分类号
H01L21/306
代理机构
代理人
主权项
地址
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