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发明名称 PLASMA REACTOR USING ELECTROMAGNETIC RF COUPLING AND PROCESSES
摘要
申请公布号 KR100265617(B1) 申请公布日期 2000.10.02
申请号 KR19920025497 申请日期 1992.12.24
申请人 APPLIED MATERIALS INC 发明人 KENNETH S. COLLINS;CHAN-LON, YANG;JERRY, Y. WON;JEFFREY, MARKS;PETER, R. KESWICK;DAVID, W. GROECHEL
分类号 C23F4/00;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065;H05H1/46;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 C23F4/00
代理机构 代理人
主权项
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