主权项 |
1.一种接合装置,具有由可在以对向定位之2个部件间移动之光学探测器、将来自该光学探测器之前述2个部件之各影像结像之第1及第2光学手段、及将以该第1及第2光学手段之结像摄影之第1及第2摄影手段所形成之光学检知装置,依据前述光学检知装置之检知结果而将2个部件位置整合之后,进行接合之接合装置,其特征包含:前述光学探测器系由使第1及第2部件之第1及第2影像由不同方向反射之第1及第2取像用棱镜;使透过前述第1取像用棱镜之第1影像反射偶数次而送往前述第1光学手段之第1光学系统导入用棱镜或镜子;及使透过第2取像用棱镜之第2影像反射奇数次而送往前述第2光学手段之第2光学系统导入用棱镜或镜子所形成。2.如申请专利范围第1项所述之接合装置,其中前述第1光学系统导入用棱镜为五棱镜、屋脊型棱镜、2次反射之45度偏角棱镜、2次反射之30度偏角棱镜、4次反射之双棱镜及4次反射之波罗棱镜中之一者。图式简单说明:第一图表示用于本创作之接合装置之光学检知装置之一实施形态之平面图。第二图表示用于本创作之接合装置之光学检知装置之另一实施形态之平面图。第三图表示接合装置之概略构成之说明图。第四图表示习知之光学检知装置之平面图。第五图由箭头A方向所看到第四图之取像用棱镜部分之说明图。第六图由箭头B方向所看到第四图之第1摄影手段部分之说明图。 |