- - ACID-SENSITIVE DEVELOPER-SOLUBLE BOTTOM ANTI-REFLECTIVE COATINGS

摘要

산-민감성, 현상제-민감성 바닥부 반사방지 코팅 조성물이 이러한 조성물을 이용하는 방법 및 상기 조성물로 형성된 마이크로전자 구조물과 함께 제공된다. 조성물은 바람직하게는 용매 시스템에 용해되거나 분산된 가교 가능한 고분자를 포함한다. 고분자는 바람직하게는 아다만틸기를 가지는 반복 단량체 단위를 포함한다. 조성물은 또한 바람직하게는 고분자와 함께 용매 시스템에 분산되거나 용해된 비닐 에테르 가교제와 같은 가교제를 포함한다. 일부 구체예에서, 조성물은 또한 광산 발생제 (PAG) 및/또는 정지제를 포함할 수 있다. 바닥부 반사방지 코팅 조성물은 열적으로 가교 가능하지만, 산의 존재에서 탈가교되어 현상제 용해성으로 될 수 있다.