发明名称 晶圆检查系统及使用该系统之晶圆检查方法
摘要 为了要精确地检测晶圆边壁以侦测到有缺陷和受损的边壁,本发明系揭示一种检测系统和使用该系统的检测方法。该晶圆检测系统包括一晶圆转动器,其系由一驱动源驱动且用来转动晶圆;一影像撷取装置,用来撷取被晶圆转动器转动的晶圆之边壁影像;和一侦测装置,含有正常晶圆边壁影像,将影像撷取装置所撷取的晶圆边壁影像资讯与正常晶圆边壁影像资讯作比较,以及判定受检测的晶圆是否正常。该影像撷取装置包括一照明装置,其用来照明正被晶圆转动器转动的晶圆之边壁;和一摄影机,其用来撷取被照明装置照明的晶圆边壁影像。
申请公布号 TW423089 申请公布日期 2001.02.21
申请号 TW088100200 申请日期 1999.01.07
申请人 三星电子股份有限公司 发明人 玄基;琴京洙
分类号 H01L21/66 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人 恽轶群 台北巿南京东路三段二四八号七楼;陈文郎 台北巿南京东路三段二四八号七楼
主权项 1.一种晶圆检测系统包括:一晶圆转动器,其系由一驱动源驱动且用来转动晶圆的晶圆转动器;一影像撷取装置,其用来撷取正在该晶圆转动器中转动的晶圆之边壁影像;一侦测装置,其内含正常晶圆的影像边壁资讯,且会将该影像撷取装置所撷取的晶圆边壁影像资讯与正常晶圆边壁资讯作比较,以及判定被检测的晶圆是否正常。2.如申请专利第1项之晶圆检测系统,其中该晶圆转动器是一个可一次旋转360度而不停的切平角对正器。3.如申请专利第1项之晶圆检测系统,其中该影像撷取装置包括:一照明装置,其用来照明正在该晶圆转动器转动的晶圆边壁;和一摄影机,其用来撷取被该照明装置照明的晶圆之边壁影像。4.如申请专利第3项之晶圆检测系统,其中该照明装置为一半导体雷射。5.如申请专利第3项之晶圆检测系统,其中该摄影机为一具有自动对焦镜头的CCD(光电耦合元件)摄影机。6.如申请专利第1项之晶圆检测系统,其中该侦测装置为一内有影像处理程式的电脑。7.如申请专利第6项之晶圆检测系统,其内该电脑有一输出装置,其用来输出该侦测装置所比较的结果。8.一种晶圆检测系统,其包括:一具某宽度的桌子;一放置在桌子上的晶圆转动器,其可以转动置于其上的卡匣内之晶圆,该晶圆的边壁直立向上;一平台,固定位于其上的该晶圆转动器及将该晶圆转动器沿着晶圆中心轴方向移动;一垂直支持物,其设置在桌子一端且具有某高度;一水平支持物,其经由移动装置而与垂直支持物相连,且以该垂直支持物做为导轨而上下移动;一照明装置,其置于该水平支持物的某一位置用来照明晶圆的边壁;一插影机,其放置于水平支持物上且靠近该照明装置,其可撷取被该照明装置照光且正在转动的晶圆14之边壁影像;和一台电脑,其内含正常晶圆边壁影像资讯,藉着将该影像撷取装置所撷取的晶圆边壁影像资讯与正常晶圆边壁影像资讯作比较来侦测异常的晶圆,以及判定所检测的晶圆是否正常,该电脑控制该系统。9.如申请专利第8项之晶圆检测系统,其中该一螺旋凹槽设置在该晶圆转动器下方的中央沿着该晶圆转动器的纵向方向。10.如申请专利第9项之晶圆检测系统,其中该一种导槽设置在该螺旋凹槽的两侧,其等沿着该晶圆转动器的纵向以某距离彼此分开,且用来支持该晶圆转动器的移动。11.如申请专利第8项之晶圆检测系统,其中该一螺杆设置在该平台上,藉着与螺旋凹槽相耦合转动来驱动该晶圆转动器。12.如申请专利第11项之晶圆检测系统,其中该一马达被设置在平台中,藉由于螺杆尾端的一齿轮与一成型锯齿牙传输一转动力。13.如申请专利第12项之晶圆检测系统,其内该凸起物被设置于该平台顶端,突起物分别位于该螺杆两侧,彼此相距某一距离,成纵向地延伸并与该导槽接合,用来支持晶圆转动器的移动。14.如申请专利第8项之晶圆检测系统,其中该一立方体型的遮罩设置于该水平支持物上,其朝向晶圆的面是打开的,用来阻隔外来光线和收纳该照明装置及该摄影机的部分于其上部。15.如申请专利第8项之晶圆检测系统,其中该锯齿牙形成于该垂直支持物的表面。16.如申请专利范围第8项之晶圆检测系统,其中该移动装置藉由一驱动力沿着该垂直支持物移动。17.如申请专利范围第16项之晶圆检测系统,其中该移动装置包含一由电气信号驱动的马达,和一与该马达相连的齿轮,且可沿着该垂直支持物上的该锯齿牙移动。18.如申请专利范围第15项之晶圆检测系统,其中一开关系设置在该垂直支持物的一端,其系藉由移动一由驱动力所驱动的移动装置来控制该水平支持物的高度。19.如申请专利范围第15项之晶圆检测系统,其中一阻挡器系设置于该垂直支持物上,其用来限制该水平支持物的高度。20.如申请专利范围第14项之晶圆检测系统,其中一感测器系设置于该水平支持物上的该遮罩中,位于该摄影机与该照明装置间,且用来感测该卡匣内晶圆的存在。21.如申请专利范围第8项之晶圆检测系统,其中一显示装置系设置在该垂直支持物的上端,且用来显示受检测的晶圆数,处理状态和该系统的运作状态。22.如申请专利范围第21项之晶圆检测系统,其中该显示装置包含一液晶显示器,其用来显示受检测的晶圆数、处理状态,和一以不同颜色的灯来显示该系统运作状态的信号灯柱。23.一种晶圆检测系统包括:一具某宽度的桌子;一放置在桌子上的晶圆转动器,其可以转动置于其上的卡匣内之晶圆,该晶圆边壁直立向上;一垂直支持物,其设置在桌子一端且具有某高度;一水平支持物,其经由第一移动装置而与该垂直支持物相连,且该垂直支持物做为导轨而上下移动:一第二移动装置,其藉着该水平支持物做为导轨以上下移动;一照明装置,其放置在该第二移动装置的一边,且用来照明晶圆的边壁;一摄影机,其放置在该第二移动装置上,靠近该照明装置并与其相对,可撷取被该照明装置照光且同时正在转动的该晶圆之边壁影像资讯;和一台电脑,其内含正常晶圆边壁的影像资讯,藉着将该影像撷取装置所撷取的晶圆边壁影像资讯与正常晶圆边壁影像作比较来侦测不正常的晶圆,以及判定所检测的晶圆是否正常。24.如申请专利范围第23项之晶圆检测系统,其中一立方体型遮罩被安置在该第二移动装置上,其朝向晶圆的面是打开的,其用来阻隔外来光线和收纳该照明装置及该摄影机的部分于其上部。25.如申请专利范围第23项之晶圆检测系统,其中一锯齿牙分别形成于该垂直支持物和该水平支持物的表面上。26.如申请专利范围第23项之晶圆检测系统,其中该第一和该第二移动装置更包含了一由电气信号驱动的马达和一与该马达相连的齿轮,可分别地沿着该垂直与该水平支持物的锯齿牙移动。27.如申请专利范围第23项之晶圆检测系统,其中一开关系设置在该垂直支持物的一边,其藉由一驱动力移动该第一移动装置,来控制该水平支持物的高度。28.如申请专利范围第23项之晶圆检测系统,其中一阻挡器系设置在该垂直支持物上,且用来限制该水平支持物的高度。29.如申请专利范围第24项之晶圆检测系统,其中一感测器系设置在该第二移动装置上且置于该遮罩中,其位于该摄影机与该照明装置之间,用来感测卡匣内晶圆的存在。30.如申请专利范围第23项之晶圆检测系统,其中一显示装置系设置在该垂直支持物的上端,其用来显示要处理的晶圆数、处理状态和该系统运作状态。31.如申请专利范围第30项之晶圆检测系统,其内该显示装置包括一液晶显示器(LCD),其用来显示出要处理的晶圆数、处理状态和一以不同颜色的灯来显示该系统的运作状态的座信号灯柱。32.一种晶圆检测方法包括这些步骤:(a)将一有待检测晶圆的卡匣放入晶圆转动器中(b)藉由扫描卡匣内的晶圆和将影像撷取装置与待测晶圆对准以做,来作检测的准备;(c)使该用影像撷取装置来撷取正在该卡匣内转动的该待测晶圆之边壁影像;(d)将该影像撷取装置所撷取的晶圆边壁影像资讯与正常晶圆边壁影像作比较,以及判定该受检测晶圆是否正常;(e)依上述比较与判定输出结果。33.如申请专利范围第32项之晶圆检测方法,其中该判定受检测晶圆是否正常的步骤包括:藉着一影像资讯处理程式,将受检测晶圆被撷取的边壁影像之光强度与正常晶圆边壁影像作一比较。图式简单说明:第一图是一方块图,概要地表示一如本发明之晶圆检测系统;第二图显示一如本发明的一个实施例之晶圆检测系统;第三图显示第二图中被虚线圈起的A部分中的晶圆检测系统之一晶圆转动器和一平台。第四图显示一如本发明的另一个实施例之晶圆检测系统;和第五图显示一如本发明之一晶圆检测方法的程序。
地址 韩国