| 主权项 |
1.一种电浆处理设备,藉由电浆放电来实施基体的表面处理,该电浆处理设备包括:第一处理室及第二处理室,用以实施表面处理;装载-锁室,位于该第一处理室与第二处理室之间,藉由第一连接组件及第二连接组件分别与该第一处理室及第二处理室连接;多个开口,分别设置在该第一连接组件与第二连接组件中,分别致使该第一处理室与该装载-锁室之间连通,及致使该第二处理室与该装载-锁室之间连通;及输送机构,能够藉由在该第一处理室、该装载-锁室、及该第二处理室被邻接配置之方向上,以往复方式自由地移经该等开口,以便在该装载-锁室与该第一处理室之间实施基体输送,及在该装载-锁室与该第二处理室之间实施基体输送;其中,多个该输送机构系以彼此垂直的方式设置。2.如申请专利范围第1项之电浆处理设备,其中该第一处理室、该装载-锁室、及该第二处理室被系邻接地配置以形成圆弧,且该多个输送机构系藉由被转动,而能够在于该邻接的配置方向上以往复方式自由地移动。3.如申请专利范围第1项之电浆处理设备,其中在该第一连接组件及第二连接组件的每一个中,上开口及下开口被分别设置作为该等开口,该上及下开口系以彼此垂直的方式而被间隔分开;上输送机构及下输送机构,设置作为在具有该上开口及下开口之个别层级的该输送机构;及该上输送机构及下输送机构均在该装载-锁室内包括闸阀,其藉由在该邻接的配置方向上以往复的方式被驱动而从该装载-锁室侧交替地开启及关闭该第一连接组件的该开口及该第二连接组件的该开口;用于基体支撑的第一载持器,其相对于该闸条而被固定在该第一处理室侧上,且当该闸条关闭该第一连接组件的该开口时被定位在该第一处理室侧之内;及用于基体支撑的第二载持器,其相对于该闸条而被固定在该第二处理室侧上,且当该闸条关闭该第二连接组件的该开口时被定位在该第二处理室侧之内。4.如申请专利范围第2项之电浆处理设备,其中在该第一连接组件及该第二连接组件的每一个中,上开口及下开口被分别设置作为该等开口,该上开口及下开口系以彼此垂直的方式而被间隔分开;上输送机构及下输送机构,设置作为在具有该上开口及下开口之个别层级的该输送机构;及该上输送机构及下输送机构均在该装载-锁室内包括闸阀,其藉由在该邻接配置的方向上以往复的方式被驱动而从该装载-锁室侧交替地开启及关闭该第一连接组件的该开口及该第二连接组件的该开口;用于基体支撑第一载持器,相对于该闸条而被固定在该第一处理室侧上,且当该闸条关闭该第一连接组件的该开口时被定位在该第一处理室侧之内;及用于基体支撑的第二载持器,其相对于该闸条而被固定在该第二处理室侧上,且当该闸条关闭该第二连接组件的该开口时被位在该第二处理室侧之内。5.如申请专利范围第3项之电浆处理设备,其中在每一个该第一连接组件与该第二连接组件中,在该上开口与该下开口之间,中间闸阀分别被设置在该装载-锁室侧上,以转动方式交替地开启及关闭该上开口及该下开口;及该等开口的每一个系藉由该输送机构的该中间闸阀或该闸条而被关闭。6.如申请专利范围第4项之电浆处理设备,其中在每一个该第一连接组件与该第二连接组件中,在该上开口与该下开口之间,中间闸阀分别被设置在该装载-锁室侧上,以转动方式交替地开启及关闭该上开口及该下开口;及该等开口的每一个系藉由该输送机构的该中间闸阀或该闸条而被关闭。7.如申请专利范围第1项之电浆处理设备,更包括:基体输入机器人,用以将基体从基体供应站输送至该装载-锁室;及基体输出机器人,与该基体输入机器人分开设置,用以从该装载-锁室输送基体。图式简单说明:第一图系平面图,包含部分剖面图,显示根据本发明的较佳实施例之电浆处理设备的结构外形。第二图系平面图,显示第一图中所示的电浆处理设备中的基体输送系统之放大图。第三图系侧剖面图,显示第二图的基体输送系统之III-III剖面图。第四图系从第一图的IV方向观视的侧剖面图。第五图系侧剖面图,显示延着第二图之V-V线之第一图中所示的电浆处理设备中的中间闸阀。第六图系侧剖面图,显示第一图中所示之电浆处理设备中的大气闸阀(处于关闭状态)。第七图系显示处于开启状态之第六图的同一个大气闸阀。第八图至第十一图系解释说明图,显示使用第一图中所示的电浆处理设备之方法。 |
