摘要 |
<P>La présente invention concerne un composé chromophore représenté par la formule chimique 14 suivante : (CF DESSIN DANS BOPI) dans laquelle :b et c représentent des nombres de moles, remplissant la condition que le rapport de b/ c varie de 0, 1 à 1, 0 / 0, 1 à 1, 0;R " est un atome d'hydrogène ou un groupement méthyle;R4 représente un groupement alkyle, substitué ou non, linéaire ou ramifié, contenant de 1 à 5 atomes de carbone. L'invention concerne également un procédé de préparation d'un tel composé, un composition organique pour film anti-réfléchissant comprenant ce composé, ainsi qu'un procédé de formation d'un motif de film anti-réfléchissant utilisant cette composition organique. Un tel motif convient à une utilisation dans la haute intégration de dispositifs à semi-conducteur.</P>
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