发明名称 COMPOSE, COMPOSITION ORGANIQUE POUR FILM ANTI-REFLECHISSANT ET PROCEDE DE FORMATION D'UN MOTIF DE FILM ANTI-REFLECHISSANT
摘要 <P>La présente invention concerne un composé chromophore représenté par la formule chimique 14 suivante : (CF DESSIN DANS BOPI) dans laquelle :b et c représentent des nombres de moles, remplissant la condition que le rapport de b/ c varie de 0, 1 à 1, 0 / 0, 1 à 1, 0;R " est un atome d'hydrogène ou un groupement méthyle;R4 représente un groupement alkyle, substitué ou non, linéaire ou ramifié, contenant de 1 à 5 atomes de carbone. L'invention concerne également un procédé de préparation d'un tel composé, un composition organique pour film anti-réfléchissant comprenant ce composé, ainsi qu'un procédé de formation d'un motif de film anti-réfléchissant utilisant cette composition organique. Un tel motif convient à une utilisation dans la haute intégration de dispositifs à semi-conducteur.</P>
申请公布号 FR2798130(A1) 申请公布日期 2001.03.09
申请号 FR20000011420 申请日期 2000.09.07
申请人 HYUNDAI ELECTRONICS INDUSTRIES CO LTD 发明人 JUNG JAE CHANG;KONG HEUN KYU;JUNG MIN HO;HONG SUNG EUN;LEE GEUN SU;BAIK KI HO
分类号 G03F7/004;C07C31/20;C07C53/00;C08F2/06;C08F4/04;C08F4/34;C08F212/08;C08F220/28;C08K5/42;C08L25/14;C08L29/10;C08L33/14;C09D5/00;C09D125/14;C09D133/06;C09K3/00;G02B1/11;G03F7/09;G03F7/11;G03F7/38;H01L21/027;(IPC1-7):C08F220/28;C08L25/08;H01L31/023;H01L23/552 主分类号 G03F7/004
代理机构 代理人
主权项
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