| 主权项 |
1.一种组合连接器,该组合连接器至少包含:一连接器主体;及一或更多整体组合构件,其设置由连接器主体延伸出,当连接器相结合时,可作动一微动开关。2.如申请专范围第1项所述之连接器,其中上述之整体组合构件包含一受一弹簧施压之一体插销。3.如申请专范围第2项所述之连接器,其中上述之连接器为一阴射频连接器。4.一种阴组合连接器,其至少包含:一连接器主体,其具有一收容室;一插销,在连接器主体内受压于一缩回位置;以及一促动器,当一阳连接器插入于该收容室中时,其推动该插销至一延伸位置。5.如申请专范围第4项所述之连接器,其中该插销系受一弹簧所压。6.如申请专范围第5项所述之连接器,其中该连接器为一射频连接器,其包含一绝缘壳体设于连接器主体内,及一接触线心设于绝缘壳体内。7.如申请专范围第6项所述之连接器,其中该促动器系一该插销之一横向杆端,其延伸进入该收容室。8.一种组合连接器组件,其至少包含:一阴组合连接器,其包含具有一收容室之一连接器主体,一插销在连接器主体内受压于一缩回位置,以及一第一促动器设于插销与收容室间,当有一阳连接器插入于该收容室中时,前述第一促动器移动该插销至一延伸位置;以及一组合开关,包含一第二促动器,当前述插销于延伸位置时,接合该第二促动器,使第二促动器压下一微动开关。9.如申请专范围第8项所述之组件,其中该插销系受一弹簧所压。10.如申请专范围第9项所述之组件,其中该第一促动器为前述插销之一横向杆端,其延伸进入该收容室。11.如申请专范围第10项所述之组件,其中该连接器为一射频连接器,包含一绝缘壳体设于连接器主体内,及一接触线心设于绝缘壳体内。12.如申请专范围第11项所述之组件,其中该阴组合连接器系装设于一射频装置上。13.如申请专范围第12项所述之组件,其中该射频装置为一射频匹配单元。14.一种组合连接器组件,其至少包含:一连接器,其包含一连接器主体,一插销在连接器主体内受压于一缩回位置,以及一第一促动器,当连接器相结合时,前述第一促动器移动该插销至一延伸位置;以及一组合开关,其包含一第二促动器,当前述插销于延伸位置时,接合该第二促动器,使第二促动器压下一微动开关;其中该微动开关为用以中断一电源之一组合开关串的一部份。15.如申请专范围第14项所述之组件,其中该插销系受一弹簧所压。16.如申请专范围第15项所述之组件,其中该第一促动器为前述插销之一横向杆端,其延伸进入该连接器主体内之一收容室。17.如申请专范围第16项所述之组件,其中该连接器为一射频连接器,包含一绝缘壳体设于连接器主体内,及一接触线心设于绝缘壳体内。18.如申请专范围第17项所述之组件,其中该阴组合连接器系装设于一射频装置上。19.如申请专范围第18项所述之组件,其中该射频装置为一射频匹配单元。20.如申请专范围第19项所述之组件,其中该组合开关串中断交流电源至该射频匹配单元。图式简单说明:第一图为习用具有组合开关的一晶片处理台示意图。第二图为第一图中所用之组合开关示意图。第三图为一电路图,显示第1图中之一组合开关切断至一真空反应室之交流电。第四图为一剖视图,显示一阴组合连接器具有一体组合构件用以当与一阳连接器结合时作动一组合开关。第五图为一剖视图,显示第四图中之阴组合连接器具有数个内部构件被移除以显示出该一体组合构件之细部。第六图为另一阴组合连接部之剖视图,其具有另一一体组合构件用以当与一阳连接器结合时作动一组合开关。第七图为第六图之阴组合连接器之剖视图,显示当与一阳连接器结合时,该整体构件之移动。第八图为第六图之阴组合连接器之分解立体图。第九图显示第六图之阴组合连接器设置于邻近一组合开关的一表面上。 |
