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发明名称
摘要
申请公布号 JP3156075(B2) 申请公布日期 2001.04.16
申请号 JP19970186024 申请日期 1997.06.27
申请人 发明人
分类号 H01L21/304;F26B21/14;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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