滚动转盘式超微粉表面溅射包覆纳米金属复合膜装置

摘要

本装置属于一种超微粉表面纳米复合膜处理技术,其装置是上面为一转盘,下面为溅射靶面,且之间距离可调,与水平面成45度角,下面设有转轴,转轴端部装有蜗轮、蜗杆,由直流电机带动,转盘下面设有多个载料托盘。优点:结构简单,制作容易,结合磁控溅射工艺,可在多种超微粉末表面溅射包覆纳米金属薄膜,解决了超微粉末易团聚、流动性差的缺点。

主权项

1.一种滚动转盘式超微粉表面溅射包覆纳米金属复合膜装置，其特征是该装置的结构是上面为一转盘(1)，转盘下面为溅射靶面(2)，两平面平行且之间距离可调、转速可调，转盘与水平面成45度角，转盘中心垂直装有转轴(6)，转轴下端装有蜗轮(7)，蜗轮与下面的减速器机、蜗杆(4)连接，蜗杆端装有直流调速电机，在转盘的边缘设有多个载料托盘(3)，整个装置以一立柱支架固定在某一个底座上。