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发明名称 SHOWER HEAD AND APPARATUS FOR APPLYING LIQUID MATERIAL USING THE SAME
摘要
申请公布号 KR20010113315(A) 申请公布日期 2001.12.28
申请号 KR20000033608 申请日期 2000.06.19
申请人 HYNIX SEMICONDUCTOR INC. 发明人 PYO, SEONG GYU
分类号 C23C16/44;C23C16/448;C23C16/455;H01L21/00;(IPC1-7):H01L21/205 主分类号 C23C16/44
代理机构 代理人
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