| 摘要 |
<p>액티브 매트릭스형의 액정 표시 장치에 이용되는 박막 트랜지스터에 있어서, 게이트 신호선, 소스 신호선, 및 드레인 인출 전극을 3층 구조로 한다. 즉, 이들 각 배선을, 하층에 티타늄막, 중간층에 알루미늄막, 상층에 질소를 함유한 티타늄막으로 이루어지는 구조로 한다. 게이트 절연막이나, 층간 절연막을 구성하는 질화실리콘막에 접하는 상층을, 질화실리콘막과의 밀착성이 우수한, 질소를 함유한 티타늄막으로 구성함으로써, 제조 공정에서의 막 박리 등을 억제할 수 있다. 또한, 알루미늄막의 하층에 티타늄막을 형성함으로써, 알루미늄막의 저저항화를 꾀할 수 있다.</p> |
