CORROSION RESISTANT COMPONENT OF SEMICONDUCTOR PROCESSING EQUIPMENT AND METHOD OF MANUFACTURING THEREOF,申请号KR1020017016764-传众专利搜索

发明名称	CORROSION RESISTANT COMPONENT OF SEMICONDUCTOR PROCESSING EQUIPMENT AND METHOD OF MANUFACTURING THEREOF
摘要
申请公布号	KR20020027373(A)	申请公布日期	2002.04.13
申请号	KR1020017016764	申请日期	2001.12.28
申请人		发明人
分类号	H01L21/3065	主分类号	H01L21/3065
代理机构		代理人
主权项
地址