| 摘要 |
회로 배선에 검사 신호를 공급함에 있어서, 그 회로 배선에 접촉하는 핀을 불필요한 것으로 하고, 또한 육안에 의해 식별할 수 없는 미세한 결함도 검출할 수 있는 검사 장치 및 검사 방법을 제공하는 것이다. 회로 기판(100)의 회로 배선을 검사하는 검사 장치 A를, 회로 기판(100)의 한쪽 면측에 배치하고, 검사 신호가 공급되는 도전 부재(1)와, 도전 부재(1)에 검사 신호를 공급하는 신호원(2)과, 회로 기판(100)의 다른쪽 측면에서 도전 부재(1)에 대향하여 배치되는 복수의 셀(3a)을 갖는 센서 유닛(3)과, 도전 부재(1)에 검사 신호를 공급함으로써 각각의 셀(3a)에 나타내는 신호를 취득하는 컴퓨터(5)로 구성된다. |
