梳齿式体硅加工微机械加速度计

摘要

一种梳齿式体硅加工微机械加速度计属于惯性仪表领域,其结构包括由体加工形成的齿枢、多组动齿和折叠梁组构成的敏感质量元件、定齿偏置的固定齿和基片,电路包括微电容检测、力反馈伺服电路等部分。本发明将面加工梳齿结构通过定齿偏置结构等发展成体加工梳齿结构,增大了检测和加力电容,从而使分辨率和精度大大提高。此外,前置放大器采用低输入阻抗电路,闭环反馈加力采用差动直流电压方式,使仪表达到了较高的精度。

主权项

1、一种梳齿式体硅加工微机械加速度计的微机械结构，包括一个由齿枢、多组动齿和折叠梁组成的敏感质量元件，固定齿和基片；该动齿由齿枢向两侧伸出，形成双侧梳齿式结构，该齿枢两端通过立柱固定于基片上，使齿枢、多组动齿相对基片悬空平行设置；所说的敏感质量元件的每个动齿为可变电容的一个活动电极，与固定齿的每个梳齿交错配置，总体形成差动电容，其特征是在敏感质量元件下方的基片上开有一凹槽。