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发明名称
摘要
申请公布号 JP3312146(B2) 申请公布日期 2002.08.05
申请号 JP19940077362 申请日期 1994.04.15
申请人 发明人
分类号 B23K15/00;C23F4/00;G11B5/31;G11B5/60;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 B23K15/00
代理机构 代理人
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