| 发明名称 |
Protective coating by high rate arc plasma deposition |
| 摘要 |
A method for depositing adherent metal oxide-based protective coatings on glass, metal, and plastic substrates by arc plasma deposition.
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| 申请公布号 |
US6432494(B1) |
申请公布日期 |
2002.08.13 |
| 申请号 |
US20000560852 |
申请日期 |
2000.04.28 |
| 申请人 |
GENERAL ELECTRIC COMPANY |
发明人 |
YANG BARRY LEE-MEAN;GASWORTH STEVEN MARC |
| 分类号 |
C23C16/26;C23C16/40;C23C16/42;C23C16/50;C23C16/513;H01L21/205;H01L21/31;(IPC1-7):C23C16/40 |
主分类号 |
C23C16/26 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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