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发明名称
摘要
申请公布号 JP3331311(B2) 申请公布日期 2002.10.07
申请号 JP19970292524 申请日期 1997.10.24
申请人 发明人
分类号 G03F7/004;G03F7/085;G03F7/11;H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027 主分类号 G03F7/004
代理机构 代理人
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