METHODS AND APPARATUS FOR OPERATING HIGH ENERGY ACCELERATOR IN LOW ENERGY MODE

摘要

고에너지 모드와 저에너지 모드에서 대전 입자 가속기를 포함하는 이온 주입기를 효율적으로 가동하는 방법 및 장치가 제공된다. 대전 입자 가속기는 고전압 전원 장치, 고전압 전원 장치에 연결된 가속기 컬럼, 스위치 조립체를 포함한다. 가속기 컬럼은 복수의 가속기 전극을 포함한다. 고전압 전원 장치는 저에너지 모드에서 가속기 컬럼에 에너지를 공급하는 것이 디스에이블된다. 스위치 조립체는 저에너지 모드에서 가속기 전극을 기준 전위에 전기적으로 연결하고 고에너지 모드에서 가속기 전극을 기준 전위로부터 전기적으로 분리하는 스위치 소자를 포함한다. 스위치 조립체는 가속기 전극 상의 양의 전위를 방지하여 저에너지 모드에서 양의 이온 빔이 이송될 때 빔의 공간 전하 확장을 최소화한다.