发明名称 具有定电压元件之半导体装置
摘要 本发明系提供对PN接合中反方向屈服电压之经时变动具有高抑制效果之半导体装置,特别是定电压元件。其具备形成于既定导电型的半导体基板或是井11之表面区域,与半导体基板或是井为逆导电型用之杂质扩散层15,以及离开杂质扩散层所形成之元件分离用绝缘膜12,并规定杂质扩散层之端部与元件分离用绝缘层之端部间之距离在1.2μm以上。
申请公布号 TW512539 申请公布日期 2002.12.01
申请号 TW090127489 申请日期 2001.11.06
申请人 松下电器产业股份有限公司 发明人 本田浩嗣;土井雅文
分类号 H01L29/866 主分类号 H01L29/866
代理机构 代理人 林镒珠 台北市长安东路二段一一二号九楼
主权项 1.一种半导体装置,其特征在于,具备:杂质扩散层,系形成于既定导电型半导体基板或井之表面区域,与前述半导体基板或前述井为逆导电型;以及元件分离用绝缘膜,系离开前述杂质扩散层而形成之膜;前述杂质扩散层端部与前述元件用分离用绝缘膜端部间之距离,系规定在1.2m以上。2.如申请专利范围第1项之半导体装置,其中,系由前述杂质扩散层与前述半导体基板或井来形成定电压元件。3.一种半导体装置,其特征在于,具备:杂质扩散层,系形成于既定导电型半导体基板或井之表面区域,与前述半导体基板或前述井为逆导电型;元件分离用绝缘膜,系离开前述杂质扩散层而形成之膜;以及电极,至少透过较前述元件分离用绝缘膜为薄之绝缘膜形成,其终端系位于前述杂质扩散层端部与前述元件分离用绝缘膜端部的中间。4.如申请专利范围第3项中之半导体装置,系由前述杂质扩散层与前述半导体基板或井来形成定电压元件。5.如申请专利范围第3项中之半导体装置,其中,前述电极系以包围前述杂质扩散层之方式形成。6.如申请专利范围第3项中之半导体装置,其中,前述薄绝缘膜系以2次以上的步骤形成。7.一种半导体装置,其特征在于,具备:杂质扩散层,系形成于既定导电型半导体基板或井之表面区域,与前述半导体基板或前述井为逆导电型;元件分离用绝缘膜,系离开前述杂质扩散层而形成之膜;以及电极,系至少透过较前述元件分离用绝缘膜为薄之绝缘膜形成,其终端系位于前述杂质扩散层端部与前述元件分离用绝缘膜端部的中间;前述杂质扩散层端部与前述元件用分离用绝缘膜端部间之距离,系规定在1.2m以上。8.如申请专利范围第7项中之半导体装置,其中,系由前述杂质扩散层与前述半导体基板或井来形成定电压元件。9.如申请专利范围第7项中之半导体装置,其中,前述电极系以包围前述杂质扩散层之方式形成。10.如申请专利范围第7项中之半导体装置,其中,前述薄绝缘膜系以2次以上的步骤形成。图式简单说明:图1为本发明之第1实施形态之半导体积体电路装置中,形成箝位二极体部分构成例之截面图。图2为图1所示之箝位二极体部分之俯视图。图3为在本发明之第1实施形态中,箝位二极体之箝位电压之经时变动之图。图4为本发明之第2实施形态之半导体积体电路装置中,形成箝位二极体部分构成例之截面图。图5为图4所示之箝位二极体部分之俯视图。图6为习知之箝位二极体之截面图。图7为习知箝位二极体之箝位电压之经时变动之图。
地址 日本
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